氣體輸送管道的施工方法
2022-08-03 17:22:18
氣體輸送管道廣泛應(yīng)用于集成電路器件生產(chǎn)、太陽能光伏電池生產(chǎn)PDF顯示器面板生產(chǎn)等微電子領(lǐng)域,該系統(tǒng)輸送的氣體主要有高純大宗氣體(高純氧、高純氫、高純氦、高純氫等氣體)、特氣(硅烷、磷烷、砷烷、氯化氫、氯氣等工藝氣體),以上氣體在下文中簡稱“超凈氣體”。
氣體輸送管道施工方法
在管道安裝前，應(yīng)繪制管道軸側(cè)圖，標(biāo)明管道的長度和焊口的詳細(xì)位置。繪圖時應(yīng)多考慮焊接的操作空間，并盡量著氣流的方向進(jìn)行安裝。為了防止微粒污染，管道的所有預(yù)組裝加工應(yīng)在臨時凈化間內(nèi)進(jìn)行。管子在切割過程中應(yīng)防止變形或劃出痕跡，在切割的過程中用高純氬氣進(jìn)行吹掃以避免污染。切割完后，用專用刮削工具將端口刮削至平整，光滑，如端面不平，用專用工具將未端平整。焊接接口的好壞將直接影響到焊縫的質(zhì)量，從而影響整個配管安全。
為了確保焊縫質(zhì)量，正式施焊前以及焊接過程中任何一參數(shù)(位置、氣流、管徑等〕發(fā)生變化，都必須做焊接試驗(yàn)《即樣品)，樣品的焊接記錄也應(yīng)登記在每天的日常焊接記錄上面，經(jīng)檢驗(yàn)合格后方可正式施焊，焊縫成型必項(xiàng)均勻、美觀.不允許有未焊透、未熔合、焊面內(nèi)凹、氣孔、錯邊等缺陷。預(yù)制好的管道附件的兩端必須用潔凈的塑料蓋子連同塑料薄膜起封好，并用潔凈的膠帶扎緊，以減少大氣對管道的污染。
在現(xiàn)場施工時，周圍的環(huán)境會對潔凈管道有污染的危險性，因此應(yīng)盡可能地在臨時凈化間內(nèi)施焊，減少現(xiàn)場焊接點(diǎn)的數(shù)量。在全自動脈沖氬弧焊焊接過程中，如果管內(nèi)殘留有氧氣或水分，則在焊接部位會形成氧化膜，變成微粒發(fā)生源，所以，在焊接過程中及焊接前后，用高純氮?dú)獬浞种脫Q管內(nèi)的氧氣或水分是非常重要的。焊接保護(hù)氣體經(jīng)過0.05um過濾器過濾。現(xiàn)場每完成好一部分管道，兩端閥門必須關(guān)緊(如沒有閥門，管內(nèi)就應(yīng)一直充著氬氣保護(hù))在管道施工過程中難免會有微粒進(jìn)人管道系統(tǒng)內(nèi)，管路系統(tǒng)的吹掃是一個必不可少的過程;
高純氣體管道用高純氮?dú)膺M(jìn)行吹掃，先吹主干管，其次吹支干管.最后吹掃各支管。吹掃時間根據(jù)氣體品質(zhì)不同要求確定，直到測試純度合格為止。非氮?dú)夤艿?，用氮?dú)獯祾吆细窈筮M(jìn)行置換，然后再次吹掃，直至置換后的氣體達(dá)到純度要求為止。根據(jù)氣體工藝要求應(yīng)做各種測試，包括管道系統(tǒng)總體對外泄漏試驗(yàn)、總體對內(nèi)泄漏試驗(yàn)、顆粒物、露點(diǎn)、含氧量測試氦檢泄漏試驗(yàn)等。管道經(jīng)測試合格后管內(nèi)通入高純氮?dú)膺M(jìn)行保護(hù)。
對于高純氣體輸送系統(tǒng)的潔凈度控制，貫穿于系統(tǒng)設(shè)計、施工、驗(yàn)收、使用各階段，在設(shè)計階段需作周密考慮，從系統(tǒng)配置上保證減少污染。在施工階段，從施工開始時即必須對微粒進(jìn)行嚴(yán)密管理，在整個施工過程中每道工序和流程中，需采取防止微粒污染的措施，才能把微粒污染控制到最小限度，滿足高純氣體對管路輸送系統(tǒng)的要求。